紫外激光器性能
紫外激光器目前主要有固體激光器和氣體激光器兩種，固體紫外激光產(chǎn)生的方法一般有兩種，一是直接對紅外固體激光器進行腔內(nèi)或腔外3倍頻或4倍頻來得到紫外激光；二是先利用倍頻技術得到二次諧波然后再利用和頻技術得到紫外激光。氣體紫外激光就是我們常說的準分子激光器，還可以進一步發(fā)展出極紫外激光，可用于醫(yī)療美容，最重要的應用是在集成電路的光刻機上。
工業(yè)用的固體紫外激光器最常見的是波長355nm的產(chǎn)品，具有短波長、短脈沖、光束質量優(yōu)異、高精度、高峰值功率等優(yōu)點。紫外激光器與綠光、紅外相比，具有更小的熱效應，隨著激光波長的變短，各種材料都具有更高的吸收率，所以紫外激光又被稱為“冷光”，其加工材料又被稱為“冷加工”。
近些年由于超短脈沖激光器快速發(fā)展，目前已經(jīng)發(fā)展出成熟的固體紫外皮秒激光器、光纖紫外皮秒激光器，可實現(xiàn)更快、更精密的加工，但由于皮秒級的紫外激光器成本高，所以目前主流應用的仍然是納秒級的紫外激光器。
紫外激光器應用
紫外激光器具有其它激光器所不具備的優(yōu)勢，能夠限制熱應力，在加工的時候，減少對工件的損壞，保持工件的完整性。紫外激光與很多材料發(fā)生作用時，不僅僅是用熱量燒蝕、氣化材料，其紫外輻射甚至直接改變分子鏈結構，在微納級超精細加工熱敏材料時，紫外激光具有明顯的優(yōu)勢。在易燃材料、硬脆材料、陶瓷材料、玻璃、塑料、紙張等能實現(xiàn)很好的加工效果。
隨著近年紅外皮秒激光器發(fā)展迅速，國產(chǎn)化也逐漸成熟，價格大幅下降，便出現(xiàn)了紅外皮秒取代紫外納秒激光器的說法。這兩種激光器在精細加工上的對象固然有一定的重復性，比如屏幕玻璃切割、硅晶圓劃片、藍寶石切割，還有在材料上打微孔等。但是當前高功率紅外皮秒激光器采購成本較高，國產(chǎn)品牌的都需要幾十萬，而高功率紫外納秒只需要十萬或者幾萬，同樣能實現(xiàn)超精細加工的效果，在性價比上具有較大的優(yōu)勢。
在易燃材料、陶瓷材料、塑料與紙張等非金屬產(chǎn)品的激光加工，紫外激光吸收率更好，更具有優(yōu)勢。
在一些軟性塑料（軟膠）和大量用作柔性電路板FPC，以及其基體材料的特殊聚合物，如聚酰亞胺，都不能通過紅外激光處理，只能采用紫外激光進行精細加工。
另外一種利用紫外激光器小型光束尺寸和低熱應力屬性的應用是微鉆孔，包括貫穿孔、微孔和盲埋孔。紫外激光器系統(tǒng)通過聚焦垂直波束徑直切割穿透基板來鉆孔。依據(jù)所使用的材料，可以鉆出小至10μm的孔。
陶瓷材料已有數(shù)千年的發(fā)展歷史，如今從日用品、裝飾品到建筑、電子材料等，都可看到它的身影。上個世紀電子陶瓷應用逐漸成熟，應用范圍更廣，例如散熱基板、壓電材料、電阻、半導體應用、生物應用等，除了傳統(tǒng)的陶瓷加工工藝外，陶瓷加工也因應用種類的增加，進而進入了激光加工領域。
根據(jù)陶瓷對激光的吸收屬性，以及電子陶瓷元器件的逐漸小型化，CO2激光、綠光加工陶瓷都難以達到要求，只有紫外激光能實現(xiàn)陶瓷精細加工，包括陶瓷的標刻、切割、打孔。CO2激光與紫外激光在陶瓷材料加工實際效果對比：
（圖片來源：泰德激光）
隨著精細加工的要求越來越多，新一代消費電子產(chǎn)品更新迭代，陶瓷、玻璃等材料精密切割、標刻需求增加，紫外激光應用空間很大。目前國內(nèi)有格鐳、英谷、英諾、瑞豐恒、貝林、華日、羅根、南光高科等主要廠家做紫外激光器，預估2020年出貨量將達到1.5萬臺。紫外激光器冷卻設備
目前工業(yè)加工用的紫外激光器主要功率從3瓦至30瓦不等，在精細加工的高要求下，對激光器的溫控指標比較嚴格，為保證紫外激光器的可靠性光輸出以及光源的壽命，往往需要配備高品質、高穩(wěn)定性的冷卻設備。
